電子工業(yè)半導(dǎo)體行業(yè)廢氣不僅污染環(huán)境,而且會(huì)對(duì)人直接造成危害,所以需要經(jīng)過治理之后才能排放。我們針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)而研發(fā)出的一整套廢氣治理方案,操作性強(qiáng),操作簡單,效果達(dá)標(biāo)。 可處理以下四種廢氣:酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣和有毒廢氣。由于半導(dǎo)體行業(yè)有4種不同的廢氣,不同的廢氣種類適合不同的凈化方案。
1、半導(dǎo)體行業(yè)酸性/堿性廢氣廢氣治理,推薦使用噴淋塔
對(duì)半導(dǎo)體制造中產(chǎn)生的酸性和堿性廢氣采用分別收集、分別處理的方法,但處理設(shè)備和處理原理基本相同。
對(duì)于含有 酸性/堿性物質(zhì)的廢氣,大都采用大型洗滌式中央廢氣處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。但是,有些情況下,由于半導(dǎo)體制造工作區(qū)域離中央廢氣處理系統(tǒng)距離較遠(yuǎn),因此部分酸性/堿性廢氣在輸送至中央廢氣處理系統(tǒng)前,常因氣體特性導(dǎo)致在管路中結(jié)晶或粉塵堆積,造成管路堵塞后導(dǎo)致氣體外泄,嚴(yán)重者甚至引發(fā)爆炸,危害現(xiàn)場(chǎng)工作人員的工作安全。
因此,在工作區(qū)域需配置適合制程氣體特性的就地廢氣處理設(shè)備進(jìn)行就地處理,之后再排入中央處理系統(tǒng),而一些特殊的廢氣,包括劇毒、自燃、易爆等廢氣則需要先通過干式洗滌塔等設(shè)備通過吸附或氧化/燃燒等方法就地處理,之后再排人中央廢氣處理系統(tǒng) 。
現(xiàn)在,半導(dǎo)體制造過程中排放的含有有機(jī)成分的廢氣(voc)通常采用直接焚燒、活性炭吸附、生物氧化等方法進(jìn)行處理。但這3種方法都有一定的弊端:
現(xiàn)在,國內(nèi)治理有機(jī)廢氣和毒性氣體的技術(shù)是差不多的,因此,對(duì)于,這兩種廢氣治理技術(shù)我們合并討論。
2、半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體治理
低濃度大風(fēng)量的有機(jī)廢氣直接焚燒會(huì)造成大量的燃料消耗和不必要的污染,只有較高濃度的有機(jī)廢氣才建議直接焚燒,半導(dǎo)體制造的有機(jī)廢氣排放特點(diǎn)就是濃度低、風(fēng)量大,因此必須考慮將有機(jī)廢氣濃縮后再進(jìn)行焚燒處理。
活性碳吸附的方法,由于其材料特性,存在易燃燒、水分敏感度高、脫附后殘留負(fù)荷高等缺點(diǎn),在半導(dǎo)體行業(yè)基本不再使用。
生物氧化技術(shù)作為一種較新的處理技術(shù),還有待在處理大風(fēng)量方面做進(jìn)一步的研究和發(fā)展。
低溫等離子廢氣處理技術(shù)的凈化原理是:
將普通的220V/380V交流電通過變壓器,變頻器轉(zhuǎn)換為高頻高壓的電壓,產(chǎn)生足以擊穿氣體的電壓,釋放出高能電子,高能電子破壞有機(jī)廢氣中的氣體分子之間的化學(xué)鍵,斷開這些化學(xué)鍵從而產(chǎn)生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體,等離子體中的氧原子和碳原子結(jié)合形成二氧化碳,氧原子和氫原子結(jié)合形成水分子,最終產(chǎn)生排放到大氣中的氣體為無污染的二氧化碳(CO2)和水(H2O)。
低溫等離子廢氣處理技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn):
放電產(chǎn)生的低溫等離子體中,電子能量高,幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。
反應(yīng)快,不受氣速限制。
采用防腐蝕材料。
只需用電,操作極為簡單。
設(shè)備啟動(dòng)、停止十分迅速,隨用隨開,常溫常壓下即能使用。
氣阻小,適用于大風(fēng)量的廢氣處理。
光電組件生產(chǎn)企業(yè):包括LED、OLED、LCD、光伏太陽能等的生產(chǎn)制造企業(yè)。
分立器件生產(chǎn)企業(yè):主要包括晶體二極管、三極管,整流二極管,功率二極管、化合物二極管等生產(chǎn)制造企業(yè)。
低溫等離子廢氣處理技術(shù)可治理以下半導(dǎo)體企業(yè)生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣:集成電路生產(chǎn)企業(yè):主要包括數(shù)字集成電路板及模擬集成電路板生產(chǎn)企業(yè)。
文章來源:東莞市中仁環(huán)??萍加邢薰?/span>
中仁環(huán)保的產(chǎn)品適用于家私業(yè)、木制品行業(yè)、制鞋業(yè)、化工業(yè)、飼料廠、電子業(yè)等各行業(yè)環(huán)境治理,可針對(duì)客戶的不同需求,設(shè)計(jì)出讓客戶滿意的環(huán)境治理方案。歡迎來電咨詢,期待與您的合作。