熱分解工藝一般分為TO直接燃燒、RTO蓄熱燃燒、RCO催化燃燒，主要可以用于吸附濃縮后的VOCs廢氣處理，也可以直接用于廢氣濃度>3.5g/m3的中高濃度VOCs廢氣處理。
TO是將高濃VOCs廢氣送入燃燒室直接燃燒，VOCs廢氣在750℃以上燃燒生成二氧化碳和水，由于換熱效率一般在60%以下，導(dǎo)致運行成本很高，只在少數(shù)能有效利用排放余熱或有副產(chǎn)燃?xì)獾钠髽I(yè)中應(yīng)用。
蓄熱燃燒是在直接燃燒基礎(chǔ)上發(fā)展出來的新技術(shù)，通過燃燒天然氣對VOCs廢氣進(jìn)行加熱，在高溫下將VOCs廢氣氧化分解為二氧化碳和水，實現(xiàn)VOCs廢氣處理。
RTO設(shè)備內(nèi)裝有蓄熱陶瓷，熱量利用率可提高到95%以上，大大降低了運行費用，由于節(jié)能效果明顯，廢氣處理效率較高，是目前國家主推的廢氣處理工藝。

催化燃燒是采用貴金屬催化劑降低廢氣中揮發(fā)性有機物與二氧化碳的反應(yīng)活化能，使得廢氣在250～350℃較低的溫度就能充分氧化分解為二氧化碳和水，高溫氧化氣通過換熱器與新進(jìn)廢氣間接換熱后排掉，常用于處理吸附劑再生脫附出來的高濃廢氣。
RCO設(shè)備廢氣凈化效率可高達(dá)95%以上，并且具有能耗低、安全方便、無二次污染的優(yōu)點。
廢氣處理工藝中，以RTO和RCO的應(yīng)用居多。如果用于吸附脫附的濃縮VOCs廢氣處理，兩者差別不大；但若直接用以中高濃度VOCs廢氣處理時有很大區(qū)別。
兩種工藝都可以用于處理烷烴、芳香烴、酮、醇、酯、醚、部分含氮化合物等VOCs廢氣。
含硫磷類廢氣會使催化劑中毒，不適合用RCO處理，而如果忽略含硫磷廢氣燃燒時對設(shè)備儀表的少量腐蝕，可以限制性的使用RTO處理。
由于處理溫度均<1150℃，兩種工藝都不能用于處理含鹵代烴廢氣，以避免產(chǎn)生二噁英。
部分類似硅烷類的VOCs廢氣燃燒后生成固體塵灰，會堵塞催化劑或蓄熱陶瓷或切換閥密封面，所以RTO和RCO都不能使用。
來源：環(huán)保