半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中使用了大量無(wú)機(jī)物，包括許多有害有害物質(zhì)，對(duì)環(huán)境危害較為嚴(yán)重。如不通過(guò)尾氣處理設(shè)備對(duì)廢氣尾氣加以控制，將會(huì)產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。因此，需要進(jìn)行廢氣處理工程。
半導(dǎo)體廢氣成分
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的酸性廢氣主要來(lái)源于清洗工序，其中使用的清洗劑溶劑中含有大量酸性廢氣，主要成分為硝酸，硫酸，氫氟酸等，在工藝過(guò)程中，這些大部分通過(guò)揮發(fā)成為廢氣排放。
半導(dǎo)體廢氣處理方法
半導(dǎo)體酸廢氣處理主要采用方法：噴淋法。
根據(jù)企業(yè)情況，此案例主要是采用堿液體二級(jí)噴淋法，又稱化學(xué)洗滌法。
因液體自身具有的溶解特性，可以更好地利用酸堿中和去除污染物，而達(dá)到大氣排放標(biāo)準(zhǔn)，故噴淋法是半導(dǎo)體行業(yè)酸堿廢氣治理普遍采用的主要處理方法。

酸霧凈化塔工藝
通過(guò)設(shè)備直接連接將廢氣收集起來(lái)，在風(fēng)機(jī)的作用下將廢氣源源不斷向凈化設(shè)備輸送，再經(jīng)過(guò)通風(fēng)管道的輸送作用，使廢氣輸送到系統(tǒng)的噴淋塔內(nèi)，氣體在噴淋塔塔內(nèi)經(jīng)過(guò)堿性洗液的噴淋洗滌過(guò)程，廢氣中所含有的容易產(chǎn)生酸霧的氣體成份充分與堿性水霧接觸混合并且發(fā)生中和反應(yīng)，并且形成較好的氣液兩相交和。經(jīng)過(guò)噴淋后的水霧再在洗滌塔內(nèi)的填料層內(nèi)形成一個(gè)多孔接觸面較大的處理層，從而進(jìn)一步對(duì)酸霧進(jìn)行治理。

酸霧洗滌塔適用范圍：
酸霧洗滌塔主要適用于硫酸、硝酸、氫氟酸、鹽酸等生產(chǎn)工藝操作過(guò)程產(chǎn)生酸/堿性廢氣處理。

來(lái)源：環(huán)保