隨著科技的發(fā)展，目前市場上新材料行業(yè)與傳統(tǒng)材料相比，其應用范圍更廣了，新材料產業(yè)的研究與開發(fā)投入高，產品的附加值高在生產與市場的國際性強，而且新材料半導體行業(yè)的發(fā)展前景好。而新材料半導體行業(yè)在加工的過程中采用清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑，這些溶劑中含有大量的有機物成分，在整個工藝加工的過程中將會有部分的有機溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放，這部分揮發(fā)的廢氣主要成分為具有揮發(fā)性的VOCs，下面講解一下關于：新材料半導體行業(yè)的廢氣應該怎么處理。
電子廠涉及到的行業(yè)很多，不同行業(yè)在工藝上有一定差異，產生的廢氣種類也有一定的差異，今天就從半導體行業(yè)入手為大家介紹電子廠廢氣處理。電子廠半導體廢氣的處理主要針對半導體行業(yè)有機廢氣和毒性氣體的治理，我們嘗試使用筒式沸石轉輪廢氣處理技術。半導體行業(yè)產生的有機廢氣，主要可以分為，半導體制造工藝有機廢氣，和半導體封裝工藝產生的有機廢氣。
半導體制造工藝
1、電子行業(yè)生產廠家處理有機廢氣和毒氣的處理方法
現(xiàn)在，半導體制造過程中排放的含有有機成分的廢氣(VOCs)通常采用直接焚燒、活性炭吸附、生物氧化等方法進行處理。
2、針對電子廠廢氣處理半導體行業(yè)有機廢氣和毒性氣體的治理，筒式沸石轉輪廢氣處理技術的凈化原理是：
將普通的220V/380V交流電通過變壓器，變頻器轉換為高頻高壓的電壓，產生足以擊穿氣體的電壓，釋放出高能電子，高能電子破壞有機廢氣中的氣體分子之間的化學鍵，斷開這些化學鍵從而產生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體，等離子體中的氧原子和碳原子結合形成二氧化碳，氧原子和氫原子結合形成水分子，最終產生排放到大氣中的氣體為無污染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。
3、電子廠廢氣處理筒式沸石轉輪廢氣處理技術具有以下優(yōu)點：
放電產生的筒式沸石轉輪體中，電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。
反應快，不受氣速限制。
采用防腐蝕材料。
只需用電，操作極為簡單。
設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，常溫常壓下即能使用。
氣阻小，適用于大風量的廢氣處理。
4、電子廠廢氣處理筒式沸石轉輪廢氣處理技術應用領域：集成電路生產企業(yè)、分立器件生產企業(yè)、光電組件生產企業(yè)。
5、半導體企業(yè)廢氣排放特征分析
半導體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。
6、半導體行業(yè)有機廢氣和毒氣的來源
半導體制造工藝產生的揮發(fā)性有機廢氣，主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序，與半導體制造工藝相比，半導體封裝工藝產生的有機廢氣較為簡單，主要為晶粒粘貼、封膠后烘烤過程產生的烘烤廢氣。
含毒氣性廢氣，其來源為化學氣相沉積、干蝕刻機、擴散、離子布值機及磊晶等制程時所產生。主要成分是磷化氫等。
電子廠廢氣處理半導體筒式沸石轉輪技術，在實際設計中，需要加洗滌塔作為預處理裝置，來攔截粉塵和易溶性的酸堿廢氣。
針對排放的腐蝕性強的氯化氫酸性廢氣，采用兩級堿噴淋塔處理系統(tǒng)對其進行處理。通過對比產生、排放濃度和速率可知，該處理系統(tǒng)對氯化氫酸性廢氣的去除效率可達95%以上。電子行業(yè)企業(yè)產生的腐蝕性強、有毒有害的氯化氫酸性廢氣，可采用兩級堿噴淋塔凈化工藝，以達到高效凈化、經濟可行、穩(wěn)定性高的效果。
新材料半導體行業(yè)的廢氣除了含有VOCs以外，還混有HCl、氨、HF等危險污染物，采用的是RTO蓄熱式焚燒爐來處理半導體行業(yè)的廢氣：工業(yè)廢氣中主要含有酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體四種，自身具有的溶解特性，半導體工業(yè)的氣體雖然排放量大，但是氣體的濃度低。
RTO設備采用的是高溫破壞焚燒的廢氣治理技術，升溫能源一般是電和天然氣，其高溫需高達700度或者以上，雖然溫度需高達700度左右，但是其實消耗的能源并不多，設備運行期間部分的熱能是能夠回收重新利用的，降低能量消耗的同時提高了廢氣分子的燃燒反應速率。
來源：環(huán)保
