低溫等離子體廢氣處理是利用高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。低溫等離子體廢氣處理不需任何添加劑，不產(chǎn)生廢水、廢渣，不會(huì)導(dǎo)致二次污染。

低溫等離子體技術(shù)工作原理：等離子體處理多組分異味、惡臭氣體時(shí)，等離子體中的高能離子起決定性的作用。流星雨?duì)畹母吣艿入x子與介質(zhì)發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)介質(zhì)的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)、離解、電離等一系列過(guò)程是污染介質(zhì)處于活化狀態(tài)。

污染介質(zhì)在等離子體的作用下，產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染分子經(jīng)過(guò)等離子體定向鏈化學(xué)反應(yīng)后被脫離。當(dāng)離子平均能量超過(guò)污染介質(zhì)中化學(xué)鏈結(jié)合能時(shí)，分子鏈段裂，污染介質(zhì)分解，并在等離子發(fā)生器吸附場(chǎng)的作用下被收集。

在低溫等離子體中，可能由污染介質(zhì)成分決定發(fā)生的各類化學(xué)反應(yīng)，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染物介質(zhì)濃度及共存的介質(zhì)成分。

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