1.半導體工廠廢氣簡述
隨著科技的飛速發(fā)展,半導體在各個領(lǐng)域的應(yīng)用越來越廣泛,如智能手機、電腦、汽車等。然而半導體工廠在生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生大量的廢氣污染物,主要為酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣等污染物。如果這些廢氣不經(jīng)過有效的處理,直接排放到大氣中,不僅對環(huán)境造成嚴重的污染,還會對人體健康造成傷害。因此,需要對半導體工廠廢氣進行凈化處理后達標排放。
2.半導體工廠廢氣處理
半導體工廠在生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生廢氣,主要為酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣等廢氣污染物。酸性氣體采用堿液噴淋洗滌法處理,堿性氣體采用酸液噴淋洗滌法處理,而對于有機廢氣處理方法有很多種,常見主要有活性炭吸附、催化燃燒等,接下來,詳細介紹半導體工廠廢氣處理。
2.1 酸性、堿性氣體處理方法
酸性廢氣處理方法是采用“堿液噴淋塔”進行處理,以10%的氫氧化鈉溶液為吸收液。堿性廢氣處理方法是采用“酸液噴淋塔”進行處理,以10%的硫酸溶液為吸收液。酸性、堿性廢氣洗滌凈化法,應(yīng)用相當普遍,具有運行穩(wěn)定,處理效果好,投資少,處理費用低等優(yōu)點。
2.2 有機廢氣處理
(1)活性炭吸附
活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑(活性碳、硅膠、分子篩等)來處理有機廢氣,這樣就能夠通過化學鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分,并且將其吸附在吸附劑的表面,從而達到凈化有機廢氣的目的。吸附法目前主要應(yīng)用于大風量、低濃度(≤800mg/m3)、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機廢氣凈化處理。
活性炭凈化率高(活性炭吸附可達到90%以上),實用遍及,操縱簡單,投資低。在吸附飽和以后需要更換新的活性炭,更換活性炭需要費用,替換下來的飽和以后的活性炭也是需要找專業(yè)人員進行危廢處理,運行費用高。
(2)催化燃燒
催化燃燒法作為另一種高效處理有機廢氣的技術(shù),其核心在于利用催化劑降低有機物的燃燒溫度,使廢氣在較低的溫度下就能發(fā)生無焰燃燒,進而分解為無害的二氧化碳和水蒸氣。這種方法尤其適用于處理高濃度、小風量的有機廢氣,具有凈化效率高(可達95%以上)、能耗低、二次污染小等優(yōu)點。
催化燃燒系統(tǒng)通常包括預熱裝置、催化反應(yīng)器和熱回收系統(tǒng)。廢氣首先經(jīng)過預熱裝置,提升溫度至催化劑的活性溫度窗口內(nèi),隨后進入催化反應(yīng)器,在催化劑表面迅速發(fā)生氧化反應(yīng),釋放出大量熱能。這部分熱能可通過熱回收系統(tǒng)回收利用,用于預熱進入系統(tǒng)的廢氣,從而實現(xiàn)能量的高效利用。
值得注意的是,催化燃燒技術(shù)對催化劑的選擇至關(guān)重要。催化劑不僅需具備高活性、高選擇性,還需具備良好的熱穩(wěn)定性和抗中毒能力,以應(yīng)對半導體工廠廢氣中可能存在的復雜成分。此外,定期維護和更換催化劑也是保證系統(tǒng)長期穩(wěn)定運行的關(guān)鍵。
綜上所述,半導體工廠廢氣處理是一個綜合性的環(huán)保工程,需根據(jù)廢氣成分、濃度及排放量等因素,靈活選擇并優(yōu)化處理工藝。通過采用堿液噴淋、酸液噴淋、活性炭吸附及催化燃燒等多種技術(shù)手段,可有效減少廢氣對環(huán)境的污染,保護人體健康,推動半導體行業(yè)的綠色可持續(xù)發(fā)展。
來源:環(huán)保